半導體氣體過濾器

恒歌半導體氣體過濾器? 專業氣體過濾器OEM制造商

恒歌是一家領先的專業半導體氣體過濾器制造商，我們提供廣泛的一系列專門設計的濾波器，可滿足各種半導體的需求。

制造工藝包括IGS氣體過濾器、氣體擴散器、高壓高純氣體過濾器、工藝氣體過濾器、真空系統氣體過濾器和儀表保護專用氣體過濾器。

恒歌的工藝氣體過濾器采用精密工程和優質材料，確保最大效率和可靠性，使其成為半導體生產中關鍵應用的理想選擇。

當然，我們還為燒結金屬氣體過濾器的孔徑、外觀和結構等特殊要求提供OEM服務。

產品特點及規格:

1、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

2、整體316L不銹鋼結構

3、適用于多種工藝氣體

4、高通量、低阻力

5、超高顆粒攔截效率

6、100%氨氣檢露測試

7、內置0.003-100微米過濾器

8、出口氣體各雜質含量小于5ppb

9、可配置兩閥、三閥和四閥等組件?

透氣孔徑：

納米級：3nm、50nm、100nm、200nm、500nm可定制

微米級的：0.003-100μm

恒歌金屬濾材氣體過濾器有著多種規格型號、可提供OEM定制服務、可按照您的需求設計生產、為您的項目提供最專業的過濾解決方案!

為什么在半導體制造過程中需要使用氣體過濾器?

在半導體制造領域，氣體過濾器是確保生產工藝穩定、產品質量可靠的核心部件。其重要性體現在對污染物的高效攔截、超高純度氣體的保障、設備的保護以及產品良率的提升等多個關鍵層面。

一、氣體過濾器在半導體制造中的作用

1. 污染物高效去除

半導體制造流程包含光刻、蝕刻、化學氣相沉積(CVD)等精密工藝，對環境潔凈度要求極高。哪怕是粒徑極小的灰塵顆粒、微量潮氣或化學殘留物，都可能引發半導體晶圓表面缺陷、電路短路等問題，嚴重影響產品性能與成品率。氣體過濾器能夠精準攔截工藝氣體中的顆粒污染物、氣態雜質以及氣溶膠，為晶圓制造營造潔凈的氣體環境。

2. 維持超高純度標準

半導體器件的性能與可靠性直接取決于生產過程中所用氣體的純度。雜質氣體的混入，如氧氣、水蒸氣、有機化合物等，可能與半導體材料發生化學反應，導致器件電學性能下降、使用壽命縮短。氣體過濾器通過多級過濾技術，可將工藝氣體純度提升至 99.999% 以上，有效滿足半導體制造對超純氣體的嚴苛需求。

3. 精密設備防護

CVD 反應器、等離子蝕刻機等半導體制造設備價值高昂且結構精密，對氣體純凈度極為敏感。氣體中的污染物會造成設備內部管路堵塞、部件腐蝕、反應腔室污染等問題，不僅增加設備維護成本，還會導致頻繁停機。氣體過濾器作為設備的 “防護盾”，能夠有效隔離污染物，延長設備使用壽命，保障生產連續性。

4. 保障產品良率

在半導體制造中，產品良率直接關系到企業經濟效益。據統計，因氣體污染導致的產品缺陷可使良率降低 10%-30%。氣體過濾器通過持續提供純凈氣體，可顯著減少因污染引發的產品不良，確保生產效益最大化。

5. 確保產品質量一致性

穩定的生產環境是保障半導體產品質量一致性的關鍵。氣體過濾器可有效避免因氣體雜質導致的工藝波動，確保每一批次產品都能達到嚴格的質量標準，提升產品市場競爭力。

6. 減少非計劃停機

氣體污染引發的設備故障會導致非計劃停機，打亂生產節奏，造成巨大經濟損失。氣體過濾器通過穩定氣體質量，可降低設備故障率，減少停機時間，提高生產效率。

7. 化學兼容性保障

半導體制造過程中使用的氣體，如硅烷、氨氣、氯氣等，多具有強腐蝕性或高反應活性。氣體過濾器采用特殊材料和結構設計，能夠在惡劣化學環境下穩定運行，確保氣體過濾效果與設備安全。

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二、我們的半導體氣體過濾器類型

1. BF大宗氣體專用過濾器

功能：專為超高純工藝氣體在線過濾設計，過濾精度高達0.003μm，確保高流通量下低阻損，滿足超高純工藝需求。

材料：采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質設計，整體金屬構造，耐高溫、耐高壓、耐腐蝕。

應用場景：適用于多種工藝氣體，適用于潔凈室環境內制造、測試、包裝，是高溫動態環境下的理想過濾解決方案。

2. TF系列工藝氣體專用過濾器

功能：精準清除UHP超純氣流微粒，保障生產純凈度，安裝簡便，僅需氣路對接與螺母緊固，避免焊接風險，確保密封無憂。

材料：采用頂級316L不銹鋼全材打造，結構緊湊輕盈，大幅降低壓力損耗，展現卓越微粒過濾效率。

應用場景：適用于多種工藝氣體，適用于潔凈室環境內制造、測試、包裝，是工藝氣體凈化的理想之選。

3. SF系列IGS面板專用過濾器

功能：用于集成氣體輸送與控制系統，兼容C型和W型多種密封規格，實現0.003μm級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度，支持高達100slpm的大流量。

材料：全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術，電解拋光316L不銹鋼外殼。

應用場景：采用符合SEMI標準的表面安裝元件，便于系統集成與模塊化設計升級，安裝維護便捷高效，適助力設備升級無憂。

4. MF系列儀器保護專用過濾器

功能：全金屬材質，專為半導體氣體分配系統設計，兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口，采用墊片式便捷安裝，是MFC模塊、精密閥門及穩壓設備不可或缺的守護屏障。

材料：整體316L不銹鋼結構，耐高溫、耐高壓、耐腐蝕。

應用場景：在高達400℃環境下，能有效阻隔微粒侵襲，守護敏感氣體組件，延長設備壽命，預防因微粒污染導致的泄露風險，可選擇低壓型或高壓型，也可在現有配管上安裝，為精密設備提供經濟高效的防污屏障。

5. DF系列擴散器專用過濾器

功能：專為真空腔體快速放氣應用設計，結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，過濾精度可達0.003um，可定制化設計，靈活適應各類安裝空間。

材料：獨特的全316L不銹鋼結構，不銹鋼粉末燒結介質，耐高溫、耐高壓、耐腐蝕。

應用場景：減少工藝腔體排氣時的湍流，適用于多種工藝氣體，潔凈室環境內制造、測試、包裝，100%完整性測試通過，100%氨氣泄露檢測通過，防止微粒混入，幫助提高產品合格率。

6. HF系列高壓氣體專用過濾器

功能：用于高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統，堅固的316L不銹鋼結構和50Mpa設計壓力，兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命，能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物，保護系統免受污染，濾芯可更換，維護簡便。

材料：整體316L不銹鋼結構，輕量化、小型化，螺紋連接，確保密封性，兼容C型和W型多種密封規格。

應用場景：適用于多種工藝氣體，過濾效率高，不易堵塞，安裝與檢修便捷高效，100%完整性測試通過，100%氨氣泄露檢測通過。

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7. RF系列多孔金屬限流器

功能：通過與不同規格的氣阻配件結合，安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中，以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調節器故障引起的意外高氣體流量，在半導體制程氣體輸送分配系統中，用于保護氣體流量穩定可靠，減少氣體流動負擔，避免氣體過載引發不良后果。

材料：結構緊湊，節省空間，316L不銹鋼結構，無結構彎曲或顆粒脫落。

應用場景：可用于高流量、高溫度與高壓力環境，減少氣體流動負擔，不易堵塞，可形成層流整體，使用壽命長，100%氨氣泄露檢測通過。

8. KF系列真空系統氣體過濾器

功能：易于安裝于真空系統，特別適用于實現清潔、快速且低湍流的回填過程，有效提升產品產量和設備吞吐量，在規范安裝及操作條件下，可確保產品完整性達3.000.000次循環。

材料：減少工藝腔體排氣時的湍流，適用于多種工藝氣體，潔凈室環境內制造、測試、包裝。

應用場景：廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各類真空室(裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體)的通風，適合短時間內傳遞大量氣體流的場合。

9. 0F系列在線式專用氣體過濾器

功能：專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003μm，結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體，適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒。

材料：采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容性。

應用場景：在半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求，可選其它點位在線安裝，方便快捷，100%完整性測試，100%氨氣檢漏測試。

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三、半導體氣體過濾器常見問題解答

1. 如何科學選擇和設計半導體氣體過濾器?

選擇和設計半導體氣體過濾器需綜合考慮以下關鍵因素：

氣體純度要求：根據具體工藝對氣體純度的要求，確定過濾器的過濾效率等級和過濾精度。

氣體流量與壓力：依據實際氣體流量和工作壓力，選擇合適尺寸和結構的過濾器，確保氣體順暢通過。

污染物特性：分析氣體中污染物的類型、濃度和顆粒分布，針對性選擇過濾介質和過濾技術。

工作環境：考慮溫度、濕度、腐蝕性等環境因素，選擇具備相應耐受性的過濾器材料。

成本與維護：綜合評估過濾器的購置成本、使用壽命、更換周期和維護難度，實現性價比最大化。

2. 半導體氣體過濾器的更換周期如何確定?

過濾器更換周期受多種因素影響，通常建議采用以下方法確定：

定期更換：根據行業經驗和設備制造商建議，設定固定更換周期，一般為 6 - 12 個月。

壓差監測：實時監測過濾器前后端的壓力差，當壓差達到設定閾值(通常為初始壓差的 2 - 3 倍)時，及時更換過濾器。

在線檢測：利用氣體分析儀對過濾后氣體質量進行實時檢測，當檢測到雜質含量超標時，立即更換過濾器。

3. 半導體氣體過濾器主要采用哪些材料?

半導體氣體過濾器常用材料包括：

316L 不銹鋼：具有優異的耐腐蝕性、高強度和良好的加工性能，廣泛應用于顆粒過濾和高純度氣體過濾。

聚四氟乙烯(PTFE)：化學惰性強，耐腐蝕性極佳，適用于過濾強腐蝕性氣體和對表面光潔度要求高的工藝。

鎳基合金(如哈氏合金)：在高溫、高壓和強腐蝕性環境下表現出色，常用于特殊工藝氣體過濾。

陶瓷材料：具備高硬度、耐高溫、抗磨損等特性，適用于亞微米級顆粒過濾和高溫環境。

4. 點用(POU)過濾器在半導體制造中的獨特價值?

POU 過濾器作為半導體制造的 “最后一道防線”，具有以下重要價值：

精準防護：緊鄰工藝設備安裝，可最大限度減少氣體輸送過程中的二次污染，為設備提供最直接的保護。

質量保障：確保進入設備的氣體達到最高純度標準，有效提升工藝穩定性和產品良率。

靈活適配：可根據不同設備和工藝需求，定制化選擇過濾器類型和規格，實現精準過濾。

5. 氣體過濾器如何有效避免設備停機?

氣體過濾器通過以下方式保障設備穩定運行：

源頭控制：攔截氣體中的顆粒和化學污染物，防止其進入設備內部，避免部件磨損、堵塞和腐蝕。

性能優化：穩定氣體質量，減少因氣體波動導致的工藝異常，降低設備故障風險。

壽命延長：保護設備關鍵部件，延長設備整體使用壽命，減少非計劃維護和停機時間。

半導體制造對氣體純度和潔凈度的要求達到了近乎苛刻的程度，氣體過濾器作為保障生產質量的核心要素，其性能和可靠性直接關系到半導體產業的發展水平。選擇合適的氣體過濾器，并進行科學的維護管理，是實現半導體高效、穩定生產的關鍵。

如需獲取專業的氣體過濾解決方案，歡迎聯系 HENGKO 團隊，我們將為您提供定制化服務，助力提升生產效能與產品品質。