高壓氣體過濾器_半導(dǎo)體精密過濾器_壓縮空氣氨氣過濾器
HF系列高壓氣體專用過濾器它用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合、兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物、保護系統(tǒng)免受污染、從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運行。濾芯可更換、維護簡便。
產(chǎn)品特點
1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
2、輕量化、小型化、減少安裝空間螺紋連接、確保整個高壓氣體過濾器的密封性兼容C型和W型多種密封規(guī)格
3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
4、過濾效率高、不易堵寒
5、安裝與檢修便捷高效
6、100%完整性測試通過
7、100%氨氣泄露檢測通過
技術(shù)參數(shù)
| 濾芯材質(zhì)?? | ? 316L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體材質(zhì) | 316L不銹鋼 | |
| 表面處理??? | 內(nèi)表面??? | Ra < 1.6μm | 過濾精度μm | ≥10~0.003? |
| 外表面??? | 電解Ras0.13μm? | |||
| 最大工作壓差 | 500bar | 最大工作壓差 | 5bar | |
| 最高使用溫度 | 600°C | 下游潔凈度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um rated flow |
|
| 氦氣驗證泄漏率 | 1x10-10cc/min | 氦氣測試泄漏率 | 1×10-9/min | |
?
?
