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    2. 墊片式高純氣體過濾器

      墊片式過濾器是一種緊湊的全金屬過濾器,可適用于氣體分配系統中標準的 1/4 ″ ,3/8 ″和 1/2 ″ VCR 墊圈。

      墊片式過濾器可用于保護敏感氣體組件

      例如質量流量控制器或閥門,在高達 400℃的應用中免受顆粒損壞,延長其使用壽命,避免密封閥損壞造成泄露。

      墊片式過濾器是防止污染的經濟保障,可以避免對關鍵部件產生不利影響。

      定制化服務:

      支持特定尺寸、規格和特殊氣體工況的需求;

      恒歌VCR墊片式過濾器特點

      1.整體316L不銹鋼結構

      2.適用于高壓的系統管路

      3.可以作為表面密封的過濾器,所以不需要能外的工作(切割/接管道用于過濾安裝)

      3.耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

      4.能有效阻隔微粒侵襲,守護敏感氣體組件

      您的VCR過濾墊片可能會用到以下地方

      1、半導體制造設備:光刻機、化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沅積(PVD)等設備的高純氣體管路連接

      2、氣體控制面板(IGS):用于高純氣體管路中的顆粒過濾和密封

      3、醫療設備:氣體輸送系統中的過濾與密封

      4、工業氣體輸送系統:確保高純度氣體在連接點處的潔凈和密封

      5、實驗室設備:氣相色譜儀、質譜儀等對氣體純度有嚴格要求的設備

      半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾,滿足閥歧管箱、氣柜。

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