恒歌卡套直通過濾器不銹鋼氣體過濾器精密高效工藝氣體過濾器

在半導(dǎo)體制造中，超純氣體的潔凈度直接關(guān)乎芯片良品率。卡套直通氣體專用過濾器專為半導(dǎo)體領(lǐng)域研發(fā)，以卓越性能精準(zhǔn)清除 UHP 超純氣流中的微粒，成為保障生產(chǎn)純凈度的關(guān)鍵設(shè)備。

該過濾器采用整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，憑借其出色的耐高溫、耐高壓與耐腐蝕特性，從容應(yīng)對半導(dǎo)體工藝中各類嚴苛的氣體環(huán)境，無論是光刻、刻蝕還是薄膜沉積環(huán)節(jié)，都能穩(wěn)定運行。同時，過濾器通過 100% 完整性測試與氨氣檢漏測試，杜絕泄漏風(fēng)險，確保氣體輸送的安全性與穩(wěn)定性。

在過濾性能上，過濾器實現(xiàn)高通量與低阻力的完美平衡，其獨特的內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計，大幅降低壓力損耗，配合超高顆粒攔截率，可高效去除≥0.01μm 的微小顆粒，攔截效率≥99.999%，有效避免因顆粒污染導(dǎo)致的光刻缺陷、薄膜沉積不均等問題。

安裝便捷性是該過濾器的一大亮點。無需復(fù)雜焊接操作，僅需氣路對接與螺母緊固，即可快速完成安裝，10 分鐘內(nèi)即可完成，既節(jié)省時間，又避免了焊接可能產(chǎn)生的金屬顆粒污染，密封性能可靠，同時支持帶壓快速更換濾芯，極大提升了使用效率。此外，其結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，特別適合半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部狹窄氣路布局，有效節(jié)省安裝空間。

卡套直通氣體專用過濾器以專業(yè)設(shè)計、可靠性能和便捷操作，為半導(dǎo)體超純氣體凈化提供了高性價比的解決方案，是半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝氣體凈化的理想之選。

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