在半導體制造的微觀世界里,氣體的純凈度與穩(wěn)定性猶如生命之脈,直接關(guān)乎產(chǎn)品的質(zhì)量與生產(chǎn)的效率。恒歌MF?系列儀器保護專用過濾器,便是這條生命之脈的忠誠守護者。
恒歌MF?系列過濾器以其全金屬材質(zhì)彰顯卓越品質(zhì),整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)使其具備了與生俱來的堅韌。這種材質(zhì)不僅在常溫下表現(xiàn)出色,更能在極端環(huán)境中傲然挺立。它可耐受高達 400℃的高溫,在半導體工藝中那些熾熱的制程環(huán)節(jié),如高溫退火等工序,它如同一座堅固的堡壘,阻擋著微粒的肆意侵襲。那些可能對敏感氣體組件造成致命傷害的微小塵埃,被它拒之門外,從而確保了精密閥門、恒歌MFC 模塊以及穩(wěn)壓設(shè)備等關(guān)鍵儀器免受污染,大大降低了因微粒污染引發(fā)泄漏的風險,有力地延長了設(shè)備的使用壽命。
其耐高壓與耐腐蝕的特性,同樣使其在復雜多變的半導體氣體分配系統(tǒng)中應(yīng)對自如。半導體生產(chǎn)過程中會涉及到多種高壓氣體的傳輸與調(diào)控,恒歌MF?系列過濾器憑借其強大的耐壓能力,穩(wěn)定地維持著氣體的正常流通與過濾。同時,面對各種腐蝕性氣體的考驗,它也毫不退縮。無論是酸性還是堿性的侵蝕,都難以突破它的防護,始終堅守崗位,保障氣體的純凈度與設(shè)備的安全運行。
在安裝方面,恒歌MF?系列過濾器展現(xiàn)出了極大的便利性。兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標準墊圈接口,采用墊片式便捷安裝,無需對管道進行切割或焊接操作,即可輕松地在現(xiàn)有配管上進行安裝。這對于半導體生產(chǎn)企業(yè)而言,無疑節(jié)省了大量的時間與人力成本,提高了生產(chǎn)線的搭建與維護效率。無論是新生產(chǎn)線的布局,還是舊設(shè)備的升級改造,它都能迅速融入其中,成為精密設(shè)備不可或缺的防污屏障。
可選擇低壓型或高壓型的設(shè)計,更是滿足了不同半導體生產(chǎn)場景的多樣化需求。無論是低壓的氣體監(jiān)測環(huán)節(jié),還是高壓的氣體輸送過程,恒歌MF?系列過濾器都能精準適配,為半導體生產(chǎn)的每一個環(huán)節(jié)保駕護航,是半導體行業(yè)追求高品質(zhì)、高效率生產(chǎn)的得力助手。
發(fā)布時間 24-11-28