一、產(chǎn)品概述
在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，尤其是半導(dǎo)體等高科技領(lǐng)域，真空系統(tǒng)的性能至關(guān)重要。恒歌真空系統(tǒng)氣體過濾器作為其中的關(guān)鍵組件，正發(fā)揮著不可或缺的作用。它能夠被便捷地安裝于真空系統(tǒng)之中，為實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程提供有力保障，從而顯著提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范的安裝及操作條件下，其可確保產(chǎn)品完整性高達(dá) 3,000,000 次循環(huán)，展現(xiàn)出卓越的穩(wěn)定性和可靠性。
二、廣泛應(yīng)用
該過濾器在半導(dǎo)體設(shè)備接口（如 CVD、PVD、Etch、Epi）及各類真空室（裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體）的通風(fēng)環(huán)節(jié)有著極為廣泛的應(yīng)用。在這些需要短時間內(nèi)傳遞大量氣體流的場合，恒歌真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其出色的性能，有效維持了氣體流動的穩(wěn)定性和純凈性，為精密的半導(dǎo)體制造等工業(yè)流程保駕護航。
三、產(chǎn)品特點
1、湍流抑制：在工藝腔體排氣時，能夠有效減少湍流現(xiàn)象。湍流的減少意味著氣體流動更加平穩(wěn)有序，這對于維持工藝的精準(zhǔn)性和穩(wěn)定性有著極為關(guān)鍵的意義，可避免因湍流引發(fā)的各種工藝偏差和產(chǎn)品缺陷。
2、氣體適配性：適用于多種工藝氣體，具備良好的兼容性。無論是常見的工藝氣體，還是一些特殊的氣體類型，它都能夠出色地完成過濾任務(wù)，滿足不同工業(yè)生產(chǎn)工藝對于氣體處理的多樣化需求。
3、環(huán)境保障：在潔凈室環(huán)境內(nèi)進行制造、測試與包裝。這一特點從源頭上確保了產(chǎn)品的潔凈度，避免了在生產(chǎn)過程中引入雜質(zhì)和污染物，為在對環(huán)境要求極高的半導(dǎo)體等行業(yè)應(yīng)用奠定了堅實的基礎(chǔ)。
4、完整性測試：經(jīng)過 100% 完整性測試通過。這一嚴(yán)格的測試流程充分證明了產(chǎn)品的質(zhì)量可靠性，讓使用者能夠放心地將其應(yīng)用于各類關(guān)鍵工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)，不用擔(dān)心因過濾器自身缺陷而導(dǎo)致的生產(chǎn)事故或質(zhì)量問題。
恒歌真空系統(tǒng)氣體過濾器以其獨特的性能和多方面的優(yōu)勢，成為提升工業(yè)效率的關(guān)鍵所在，在工業(yè)領(lǐng)域尤其是半導(dǎo)體行業(yè)中有著不可替代的重要地位。
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發(fā)布時間 24-12-06