不銹鋼在線式專用氣體過濾器 大流量特種氣體過濾專用
0F系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒，在半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。
產品特點
● ?整體316L不銹鋼結構
● ?適合高溫應用
● ?超高顆粒攔截率
● ?高流量、高強度、穩定可靠
● ?適用于多種工藝氣體
● ?可選其它點位在線安裝，方便快捷
● ?100%完整性測試
● ?100%氨氣檢漏測試
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